潔凈室測量

為證明潔凈車間 工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準則的要求：
1.潔凈車間的送風量充足，足以稀釋或消除室內(nèi)產(chǎn)生的污染。
2.潔凈車間的送風不會顯著增加室內(nèi)的污染。
3.潔凈車間內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動，受污染空氣的流動達到zuidi程度，空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動方向正確。
4.室內(nèi)空氣的運動狀態(tài)可保證密室內(nèi)沒有高濃度聚集區(qū)域。
如果潔凈車間達到了上述這些準則的要求，就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時)，以確定其達到了規(guī)定的潔凈車間標準。

潔凈車間的測試 ：

1.送風量與排風量：如果是紊流潔凈車間，那么就要測量其送風量與排風量。若為單向流潔凈車間，則要測量其風速。
2.各區(qū)之間的氣流控制：為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確，也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動，必須檢測：
(1)各區(qū)間的壓差正確;
(2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確，即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流。
3.過濾器檢漏：對高效過濾器及其外框要進行檢驗，以保證懸浮污染物不會穿過
(1)損壞了的過濾器;
(2)過濾器與其外框間的縫隙;
(3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。
4.隔離檢漏：這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈車間。
5.懸浮粒子濃度和微生物濃度：如果上述這些測試滿足要求，則zui后對粒子濃度和微生物濃度(需要時)進行測量，以便驗明其符合潔凈車間設計的技術(shù)條件。
6.室內(nèi)氣流控制：氣流控制測試的類型要依潔凈車間的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈車間氣流為紊流，則必須驗明室內(nèi)沒有氣流運行不足的區(qū)域。若是單向流潔凈車間，則必須驗明整個室內(nèi)的風速和風向是符合設計要求的。
7.其他測試：除了上述這些污染控制方面的測試以外,有時還須進行下述一項或若干項測試：
● 溫度 ● 相對濕度 ●室內(nèi)加熱與冷卻容量 ● 噪聲值 ● 光照度 ● 振動值

隨著計算機、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動電子制造業(yè)飛速發(fā)展的同時，也帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時對潔凈室的設計提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈廠房的設計是一項綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設計特點，做到設計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。      

電子制造業(yè)廠萬級潔凈室廠房特點 :

潔凈度等級要求高 , 風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控 , 照度、潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成 CMOS 集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在 22 ℃ 左右，相對濕度控制在 50-60% 之間 ( 特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定 ) 。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
● 電子制造廠萬級無塵車間內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應大于 65dB(A)
● 電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應小于 60% ，水平單向流無塵車間不應小于 40% ，否則就是局部單向流了。
● 電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應小于 10Pa ，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于 5Pa
● 電子制造行業(yè)萬級無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的大值：
● 補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給無塵車間內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于 40m3 。

電子制造行業(yè)無塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項大值：
● 保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量：
● 根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠無塵車間的送風量：
● 向電子制造廠無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量：
  
電子無塵車間凈化原理：
氣流 → 初效空氣過濾器凈化 → 空調(diào) → 中效空氣過濾器凈化 → 風機送風 → 管道 → 高效空氣過濾器凈化風口 → 吹入房間 → 帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗 → 初效空氣過濾器凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。

 
電子無塵車間參數(shù)：
● 換氣次數(shù)： 100000 級 ≥15 次； 10000 級 ≥20 次； 1000≥30 次。壓差：主車間對相鄰房間 ≥5Pa
● 平均風速： 10 級、 100 級 0.3 － 0.5m/s ；溫度 冬季＞ 16 ℃ ；夏季 <26 ℃ ；波動 ±2 ℃ 。
● 溫度 45 － 65 ％；高標準粉劑車間濕度在 50 ％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
● 噪聲 ≤65dB （ A ）；新風補充量是總送風量的 10 ％－ 30 ％；照度 300LX 。

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